워트, 삼성·SK하이닉스·대만 고객사 'EUV용 초정밀 온습도 제어장치' 평가 완료

반도체 공정 환경제어장비 전문기업 워트(396470)가 삼성전자 극자외선(EUV) 관련 트랙 설비에 적용되는 초정밀 온습도 제어장치(THC)의 고객사 평가를 완료했다. SK하이닉스에는 이미 평가를 마친 관련 장비를 공급하고 있으며, 대만 반도체 고객사에서도 1차 성능평가를 마치고 양산 품질을 확인하기 위한 2차 검증을 진행하고 있다.

2일 본지 취재에 따르면 워트는 "삼성전자 EUV 공정에서 사용하는 일본 도쿄일렉트론(TEL) 트랙 설비용 THC의 평가를 마무리했다"고 밝혔다.

박승배 워트 대표는 "현재 EUV용 평가가 완료돼 고객사의 구매주문이 나오면 납품할 수 있는 상태"라고 설명했다. 실제 신규 발주는 고객사의 장비 도입 수요와 구매 결정에 따라 진행된다.

워트는 그동안 삼성전자에서 세메스의 반도체 트랙 설비를 중심으로 THC를 공급해 왔다. 기존 TEL 설비에는 다른 업체의 환경제어장치가 주로 적용됐지만, 워트는 최근 TEL의 주요 트랙 설비용 THC 평가를 대부분 마무리하면서 적용 범위를 확대할 수 있는 기반을 확보했다. 박 대표는 삼성전자가 장비 공급 안정성을 고려해 복수 업체의 제품을 교차 적용할 가능성이 있다고 설명했다.

SK하이닉스의 경우 EUV 관련 트랙 설비를 포함한 THC 평가를 이미 완료하고 실제 장비 공급을 진행하고 있다. 박 대표는 "SK하이닉스는 이미 평가가 끝나 현재도 공급하고 있으며, EUV를 비롯한 관련 트랙 설비 모델에 워트 장비가 적용되고 있다"고 설명했다. 회사는 국내 주요 반도체 고객사의 신규 생산라인 구축과 기존 라인 증설에 대응해 장비 공급을 이어가고 있다.

대만 고객사에서는 지난해 12월 공급한 THC의 온습도 제어 성능과 장비 특성에 대한 1차 평가를 완료했다. 최근에는 양산 시 동일한 품질을 구현할 수 있는지 확인하기 위해 2차 평가용 장비인 2호기를 출하했다. 박 대표는 "내년 1분기 안에는 평가가 끝날 것으로 예상한다"고 설명했으며, 정식 공급 여부는 2차 평가 결과와 고객사의 최종 구매 결정에 따라 구체화될 전망이다.

국내 반도체 고객사에 대한 장비 공급 확대는 실적 개선으로도 이어지고 있다. 워트의 올해 3분기 연결기준 매출액은 약 86억원, 영업이익은 약 26억원을 기록했다. 3분기 누적 매출액은 207억원, 영업이익은 56억원이다. 회사 측은 삼성전자와 SK하이닉스의 신규 생산라인 구축과 기존 라인 증설에 따른 THC 공급 증가가 실적 개선의 주요 요인이라고 설명했다.

워트의 주력 제품인 THC는 반도체 제조장비에서 정밀한 온도와 습도를 유지하는 역할을 한다. 일반적인 반도체 클린룸이 생산시설 전체의 환경을 관리한다면 THC는 개별 제조장비에서 정밀제어가 필요한 부분의 환경을 유지하는 장치다. 특히 반도체 회로 형성 과정에서 사용되는 코터·디벨로퍼 등 노광 관련 공정에서 중요하게 활용된다.

박 대표는 초정밀 온습도 제어장치의 중요성을 보여주는 대표적인 사례로 감광액(PR) 코팅 공정을 들었다. 감광액은 온도와 습도 변화에 따라 점도가 달라질 수 있으며, 이는 웨이퍼 표면에 형성되는 코팅층의 두께에도 영향을 미친다. 이 때문에 정밀한 온습도 제어를 통해 공정환경을 일정하게 유지하는 것이 생산 수율과 공정 안정성을 높이는 데 중요한 역할을 한다는 설명이다.

반도체 공정이 미세화되면서 고객사가 요구하는 환경제어 정밀도도 높아지고 있다. 과거 온도 0.1℃와 습도 1% 수준에서 최근에는 온도 0.03℃와 습도 0.3% 이내까지 세밀한 제어를 요구하는 사례가 늘고 있다는 설명이다. 특히 고가의 반도체 제조장비가 안정적으로 가동되기 위해서는 정밀한 제어 성능뿐 아니라 THC 자체의 작동 신뢰성도 중요하다.

워트는 국내외 고객사의 장비 수요 확대에 대응하기 위한 생산시설 확장도 검토하고 있다. 현재 생산시설은 국내 고객사 물량에 대응할 수 있는 수준이지만, 해외 공급이 본격화될 경우 추가 생산능력 확보가 필요할 수 있다는 판단이다. 회사는 기존 사업장의 여유부지를 활용하는 방안을 검토하고 있으며, 구체적인 확장 계획은 아직 확정되지 않았다.

박 대표는 삼성전자와 SK하이닉스, 대만 반도체 업체들의 설비투자가 향후 약 3년간 이어질 것으로 내다봤다. 워트는 국내 주요 반도체 고객사의 장비 수요에 대응하는 동시에 해외 시장으로 공급 기반을 확대하고, 차세대 반도체 장비에 대응한 기술 개발도 이어갈 계획이다.

이명기 데이터투자 기자 dding931223@datatooza.com